GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀一些对氧较敏感的金属膜,如Ti, Al 和Au等,也可蒸镀各种氧化物材料。此款蒸镀仪安装有4个蒸镀加热头.对于实验研究,这是一款镀膜效果理想并且性价比较高的实验设备。
仪器中包括一台高抽速的涡轮分子泵和前级泵
前级泵抽速:600L/S
真空度:5.0x10-6 torr(泵开启后40分钟)
极限真空度:5.0x10-7 torr(烘烤温度为60-80℃)
漏气率:5.0x10-7Pa./S
蒸发加热源 样品台
5个水冷电极安装在腔体底部,可支持4个钨加热舟
每个钨舟上面安装有可移动的挡板,所以实验时可以防止各物料之间的污染,样品台安装在真空腔体顶部,直径为150mm
样品台可以旋转和加热,旋转速度0-20rpm,加热高温度600℃
蒸发源与样品台的距离为250mm
蒸发镀膜 https://www.chem17.com/st261120/product_22819694.html
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