puls电源是集中控制柜,分散式现场控制箱或客户特定解决方案中电源的替代产品,提供300W或500W的功率,可以轻松地并联连接,以提高整体性能或实现可靠的冗余系统。
紧凑和可靠的缓冲模块可确保-高的系统可用性。PULS的不间断电源可用于电容器存储或VRLA电池。在缓冲模式下,输出电压得到调节,并且从正常模式切换到缓冲模式时不会中断。所有模块均具有过载和短路保护,并具有较宽的工作温度范围。
puls电源在光刻机上成功应用
1、电压要求
光刻设备工作电压为直流28V,电源输出电压范围为24-28V,完全符合使用要求。
2、使用方式要求
需要有正负28V电源输出,--个电源正端与第二个电源的负端共地使用,而且两个输出相互之间不能互扰。
3、电源体积要求
由于设备整机结构紧凑,占用空间小的要求,所以要求电源等各种元器件能够尽量的小巧,不占用更多的空间。安装占用空间小,得到设备厂家和用户的一致认可。
4、电源稳定度要求
由于光刻机激光光束需要高可靠性的直流电源,所以在电源的稳定性和纹波上要求严格,工作温度范围更是达到-40℃至+70℃,降低了维护成本。
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