红外激光测厚仪

产品名称：FSM413红外激光测厚仪
产品型号：FSM 413EC, FSM 413MOT，FSM 413SA DP FSM 413C2C, FSM 8108 VITE C2C
1.  简单介绍
FSM 128 薄膜应力及基底翘曲测试设备厂家介绍：美国Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年，总部位于圣何塞，多年来为半导体行业等高新行业提供各式精密的测量设备，主要产品包括:光学测量设备:三维轮廓仪、拉曼光谱、 薄膜应力测量设备、 红外干涉厚度测量设备、电学测量设备:高温四探针测量设备、非接触式片电阻及 漏电流测量设备、金属污染分析、等效氧化层厚度分析(EOT)
2.  FSM 413 红外干涉测量设备产品简介
1)   利红外干涉测量技术,非接触式测量
2)   适用于所有可让红外线通过的材料
硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…
3.  FSM413红外激光测厚仪应用
1.衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响)
2.平整度
3.厚度变化(TTV)
4.沟槽深度
5.过孔尺寸、深度、侧壁角度
6.粗糙度
7.薄膜厚度
8.环氧树脂厚度
9.衬底翘曲度
10.晶圆凸点高度(bump height)
11.MEMS 薄膜测量
12.TSV 深度、侧壁角度…
产品资料来源：http://www.dymek.com.cn/
http://www.dymek.com.cn/Products-35226151.html
https://www.chem17.com/st110205/product_35226151.html