主要技术指标：
曝光面积：100mm×100mm
分辨力：1um（胶厚1.5μm的正胶）
对准精度：±0.8μm
大胶厚：300μm（SU8胶）
掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch
样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
照明均匀性：±4%（Ф100mm范围）
汞灯功率：350W（直流）
掩模相对于样片运动行程：X:±5mm;Y:±5mm;θ:±6°
URE-2000/35型紫外光刻机技术特点：
创新采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。
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